真空爐石墨件的功能直接影響設(shè)備功率，需滿足以下苛刻要求：
材料特性：
純度：需達(dá)99.9%以上（半導(dǎo)體領(lǐng)域要求99.99%），金屬雜質(zhì)含量低于10ppm，避免污染工件。
耐溫性：在2500℃下保持穩(wěn)定，抗熱震性需承受500°C/min的溫差驟變。
導(dǎo)電導(dǎo)熱：電阻率8–15μΩ·m，熱導(dǎo)率按需調(diào)整（隔熱件<10W/m·K，散熱件>100W/m·K）。